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智能氮氣柜整體采用304不銹鋼防靜電烤漆處理外形美觀大方。 產品編號：TEB30A47-000-R0； 存放數量：100柜； 控制系統：ICMS系統； 支持條碼：二維碼； 系統接口：MES系統接口； 操作方式：觸摸屏操作； 材質：不銹鋼+表面烤漆； 尺寸：2300*600*1600 mm； 額定電壓：AC220V； 額定電流：＜3A； 最大功耗：＜50W； 環境溫度：-10~60℃； 溫度控制范圍：10~30℃； 相對濕度監控范圍：RH=0~75%； 聯機支持：3個柜子聯機使用； 語言：中、英、繁體語言。

12寸晶圓盒采用鋁合金材質制作而成，表面陽極氧化處理，穩固耐用，耐磨耐腐蝕！ 編號：DSF20A12-000-R0； 材質：6063鋁型材； 槽數：13槽； 尺寸：394.4*387*192.5 mm； 重量≈6.3 kg； 起始位：32.7 mm； 平整度≤0.05mm； 氧化工藝：表面陽極氧化處理； 適用于disco切割劃片設備，可根據要求進行定制；